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Pura Plus在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器

  • 更新時(shí)間:  2023-11-10
  • 產(chǎn)品型號(hào):  
  • 簡(jiǎn)單描述
  • Pura Plus在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器是一款在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線(xiàn)的氣體供應(yīng)Z末端,用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。
詳細(xì)介紹
Pura Plus在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線(xiàn)的氣體供應(yīng)zui末端,用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后,會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過(guò)程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示,在 20 ppb 濕氣級(jí)別下
1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。
 

亮點(diǎn)

  • 對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng)
  • 低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度 (<1 ppb)
  • 多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念
  • 維護(hù)要求低
  • 信號(hào)燈式的狀態(tài)指示
  • 可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn)
  • Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
  • 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
  • (UHP) 超純氣體的管線(xiàn)檢測(cè)
 

技術(shù)指標(biāo)

響應(yīng)速度<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間
濕度量程1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍0 to 10 bar
耐壓等級(jí)300 bar
泄漏測(cè)試0-9 mbar l/s
工作流量范圍1 ~ 10 l/min
工作溫度5 ~ 40°C
存儲(chǔ)溫度30 ~ 70°C
電源20 ~ 28 V DC
功耗5 W zui大
外部保險(xiǎn)絲等級(jí)500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出Modbus ASCII 兩線(xiàn) RS485
警告和報(bào)警輸出2 路
zui大電壓40 V DC
zui大電流100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積4.4cm³
重量450g
氣路接口1/4" m VCR
電氣接口9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性EN50081-2 和 EN50082-2

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