Pura Plus在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線(xiàn)微量濕度異動(dòng)變送器,多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線(xiàn)的氣體供應(yīng)zui末端,用來(lái)監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜,涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后,會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過(guò)程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示,在 20 ppb 濕氣級(jí)別下 1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。 亮點(diǎn)
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